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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無損探傷儀:
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傳真電話:
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YX-2D6系列藍寶石、硅單晶及其他單晶體定向儀

  YX-2D6系列藍寶石、硅單晶及其他單晶體定向儀:是在標準定向儀基礎上,針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道.屬于通用型。

  標準配置如下:GA, GB測角儀。
  1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測晶棒參考面110;OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度.
 
 2、另一側GB專為晶棒設計,設計為寬130,長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ;如:硅(111)藍寶石C面等角度;第一個測2---3英寸端面,第二個測4---6英寸端面.

主要參數:

項 目

參 數

晶棒直徑

2---6英寸、最大8寸

晶棒長度

400 mm

樣品板面積

43寬×70高mm

定向精度

±30″

數顯方式

θ:度;分;秒;最小讀數10″

顯示器

外置立式

技術指標

符合YX-2參數。


  兩邊測角儀客戶也可根據本公司晶體尺寸、形狀選配不同型號測角儀,請參考我公司的G系列測角儀(GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH)的型號選購配置。

YX-2D6A 通用型(GA+GB適用晶圓片、晶棒)
   1,一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時能測晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。
   2,另一側GB專為晶棒設計,配有寬130㎜,長300㎜平托板,配2個可移動尼龍V型晶棒托,能測Φ2---Φ6英寸晶圓片;同時能測Φ2---Φ6英寸, 長400㎜晶棒端面 ;如硅:(111)藍寶石C面等其它晶體的角度。第一個測2---3英寸,第二個測4---6英。
YX-2D6B (GA+GC適用晶圓片、大晶棒)
   1,一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅(111)藍寶石C等角度;同時能測晶棒參考面或OF;如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。
   2, 另一側GC測角儀能測晶棒端面,測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ2---Φ6英寸,長400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。
YX-2D6C (GA+GD適用晶圓片、晶圓片參考面)
   1, 一側GA測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片,如硅:(111;100)藍寶石A,C,R面等其它晶體的角度。
   2, 另一側GD測角儀能測,晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅:(110 )藍寶石A面等其它晶體的角度。
YX-2D6D (GB+GF適用晶棒,籽晶條)
   1, 一側GB測角儀能測晶圓片;能測Φ4---Φ6英寸, 長400㎜晶棒端面,如硅:(111)藍寶石,C,R面等其它晶體的角度。
   2, 另一側GF測角儀配置一個高度可調籽晶測試架,測Φ5—20㎜圓或方型,長150㎜籽晶端面, 如硅:(111)藍寶石C 面等其它晶體的角度。
YX-2D6E (GD+GK適用晶片參考面,正負6°±15°角)
   1, 一側GD測角儀能測,晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面,如:硅(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。
   2,另一側GK測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過改變樣品板墊塊傾斜角±6°,±8°±15°度位置,來測晶圓片角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
YX-2D6F (GE+GD適用晶圓片、園片參考面)
   1,一側GE測角儀專為測大直徑晶圓片而設計,測直徑2--8英寸的晶圓片,高400㎜晶棒,如硅:(110)藍寶石C面等其它晶體的角度,樣品板有10×10㎜方格,用于晶圓片2點180°和4點90°的測試。
   2,另一側GD測角儀能測、晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面,如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。
YX-2D6G (GD+GH適用晶片參考面,正負園片±6°角)
    1,一側GD測角儀能測,晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅:(110)藍寶石A面等其它晶體的角度。
    2,另一側GH測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片,通過旋轉90°度,改變樣品板傾斜角±6°度位置來測晶圓片的角度,如:砷化稼(111,100)等其它晶體的角度。
YX-2D6H (GL+GC適用晶圓片、大晶棒)
  1,一側GL測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;如硅:(111)藍寶石C等角度;同時立測能測晶棒參考面或OF,并有垂直參考尺,便于劃線加工磨參考面,如硅:(110)面等其它晶體的角度。                                
  2, 另一側GC測角儀能測晶棒端面,測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ2---Φ6英寸,長400㎜晶棒端面目的,如硅:(111,100)藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。

說明:上述型號的配置也可以用在YX-2H8機型框架上。可根據客戶的要求設計加工特殊工作臺,請來電咨詢,我們將熱情為您回復。

 
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